Вакуумные датчики используются для измерения давления вакуума или субатмосферного давления. Вакуум означает давление ниже атмосферного. Поскольку истинный вакуум никогда не достигается, измерение происходит в отношении почти отсутствия давления газа. Вакуум можно измерить с помощью обычного датчика давления, который представлен в интернет-магазинах официальных дилеров. Однако они, как правило, не разрешаются чрезвычайно низкие концентрации газа из-за плохой подачи сигнала либо шума. Вакуумные датчики полагаются на физические свойства газообразных молекул, которые связаны с количеством таких молекул на объем пространства.

Датчики, работающие в вакуумном диапазоне, используют какое-то физическое смещение или изменение свойств материала для измерения давления. Датчики среднего и высокого вакуума используют свойства окружающей среды, такие как теплопроводность и ионизация, для измерения. Низкий вакуум можно измерить с использованием механических средств.

Поршневая технология использует герметичный поршень или цилиндр для измерения в процессе изменения давления. Механическое отклонение использует эластичный или гибкий элемент для механического отклонения с изменением давления, например, диафрагмы, трубки Бурдона или сильфонов.

Пьезоэлектрические датчики давления измеряют динамическое и квазистатическое давление. Двунаправленные преобразователи состоят из металлизированных кварцевых или керамических материалов, которые имеют естественные электрические свойства. Они способны преобразовывать напряжение в электрический потенциал и наоборот.

Микроэлектромеханические системы (МЭМС), как правило, представляют собой микросистемы, изготовленные с использованием кремниевой микромашинки для использования в очень небольших промышленных или биологических системах. Вибрационные элементы (кремниевый резонанс) используют технологию вибрационных элементов, такую ​​как кремниевый резонанс.

При использовании измерительных приборов с переменным емкостным емкостным устройством результаты измерения емкости приводят к перемещению элемента диафрагмы для измерения давления. Устройство использует тонкую диафрагму как одну пластину конденсатора. Полученное давление вызывает отклонение диафрагмы и изменение емкости. Отклонение диафрагмы вызывает изменение емкости, которое обнаруживается мостовой схемой. Емкостные датчики абсолютного давления с вакуумом между пластинами идеально подходят для предотвращения ошибок, сохраняя постоянную диэлектрическую постоянную материала.

Тензорные датчики (чувствительные к напряжению переменные резисторы) связаны с частями структуры, которые деформируются при изменении давления. Манометры прочные, надежные и стабильные, они могут работать в условиях сильной ударной и вибрационной обстановки, а также в различных средах давления. Датчики давления тензодатчика имеют несколько различных сортов: склеенный тензодатчик, напыленный тензодатчик и полупроводниковый тензодатчик.