Оглавление:
Турбомолекулярный насос представляет собой вакуумный агрегат, внешне похожий на турбонасос, используемый для получения и поддержания высокого вакуума. Современные агрегаты работают по специальному принципу. То есть молекулам газа можно задавать импульс в нужном направлении путем повторного столкновения с движущейся твердой поверхностью. В турбомолекулярном насосе быстро вращающийся ротор вентилятора ударяет из молекул газа от входа насоса к выхлопу, чтобы создать или поддерживать вакуум.
Эффект накачки устройства, состоящего из лопаток ротора и статора, основан на передаче импульсов от быстро вращающихся лопастей к накачанным молекулам газа. Молекулы, которые сталкиваются с лопастями, адсорбируются там и оставляют лопасти снова через определенный промежуток времени. В этом процессе скорость лопаток добавляется к тепловой молекулярной скорости. Чтобы гарантировать, что компонент скорости, который передается лезвиями, не теряется из-за столкновений с другими молекулами, в насосе должен преобладать молекулярный поток, то есть длина свободного пробега должна быть больше, чем расстояние между лопастями
В случае кинетических насосов происходит противодавление при откачке газа. Это вызывает обратный поток. Скорость накачки обозначается S0S0. Объемный расход уменьшается по мере увеличения давления и достигает значения 0 при максимальной степени сжатия.
Устройство турбомолекулярного насоса – особенности агрегата
Для последовательной, надежной работы и нулевого обслуживания вы можете рассчитывать на турбомолекулярные агрегаты от производителя Edwards. Первые турбомолекулярные насосы Edwards были проданы в 1983 году. Теперь производитель поставляет более 130 000 установок по всему миру. 85% из новых устройств работают на полупроводниковых инструментах, где они демонстрируют высшие показатели производительности и надежности.
Турбомолекулярные насосы Edwards являются одними из лучших для применений, требующих высокой производительности, безуглеродной перекачки, минимального обслуживания и низкой вибрации. Ротор полностью подвешен магнитными подшипниками, поэтому весь контакт устраняется между ротором и остальной частью насоса. Как и при очень низкой вибрации, устранение контакта означает отсутствие контакта подшипника при вращении ротора и отсутствие необходимости в последующем обслуживании насоса. Энергосберегающие технологии были включены в каждый этап разработки продукта для обеспечения снижения энергопотребления и эффективности работы без каких-либо компромиссов в отношении качества или производительности. Основными положительными качествами данной разработки являются:
- Более быстрый насос до базового давления;
- Компактный размер:
- Устройство значительно экономит пространство и делает процесс более простым для установки;
- Низкая стоимость;
- Потребление низкой мощности и и минимально затраты связанные с выплатой коммунальных услуг;
- Бесплатная консультация в службу поддержки;
- Экономный вариант в период кризиса
Турбомолекулярные насосы Edwards и КУКУ
Вакуумная технология необходима для изготовления многих высокотехнологичных продуктов, используемых в повседневной жизни. Многочисленные приложения в исследованиях и промышленности, однозначно, нуждаются в вакууме с чрезвычайно низким абсолютным давлением (высоким вакуумом). Турбонасосы зарекомендовали себя во всем мире как лучший технологический стандарт. Высокоскоростные роторы со скоростью до 90 000 об/мин создают условия давления, требуемые для широкого применения. Это позволяет создавать вакуум до 10-11 мбар в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума. Турбонасосы Edwards рассчитаны для идеальных вакуумных растворов, чтобы удовлетворить самые высокие требования потребителей.
Вакуумные турбонасосы Edwards доступны для скорости откачки от 10 до 2700 литров в секунду. Эти насосы помогут вам с высокой рентабельностью и гибкостью. Вакуумные турбонасосы КУКУ с их оптимизированной надежностью используют проверенные системы подшипников, которые доступны в двух вариантах: гибридная система подшипников с комбинацией керамического шарикового подшипника на стороне переднего вакуума и постоянно магнитного радиального подшипника со стороны высокого вакуума и полностью и активная магнитная система подшипников, в которой ротор левитируется без контакта или износа.
Турбонасосы для идеальных вакуумных растворов для удовлетворения самых высоких требований. Благодаря сложной конструкции ротора, чрезвычайно высокой скорости откачки, достигается критическое давление напора и пропускная способность газа, а также очень хорошие значения сжатия для легких газов. Вакуумные турбонасосы Edwards выдерживают безопасность при определенных условиях.
Современные турбонасосы достигают периферийных скоростей более 400 метров в секунду. Это приводит к соответствующей энергии кинетического ротора. Таким образом, стабильность внешнего корпуса насоса имеет жизненно важное значение и протестирована как теоретически, так и экспериментально. Современные турбонасосы сертифицированы и обладают лицензией. Помимо механической безопасности, сертификация включает противопожарную защиту и двойную защиту от избыточной скорости вращения.
